챔버
극자외선분광기
입출력유니트
 

모델명 : MGB ( MGB Chamber )

 

제작일 : 2002. 12

 

제작사양 : 높이x폭x깊이 570x460x455 mm^3
10E-9 Torr 이하의 UHV Chamber
10-10 mbar*L/s 이하의 누출률

 

납품처 : LG MGT

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