모델명 : TDS : Thermal Desorption Spectroscopy

제작일 : 2001. 6

제작사양 : 진공용 물질의 온도에 따른 기체방출 정도를 측정하기 위한 시스템
10E-12 Torr 의 XHV 챔버
UHV챔버제작 기술과 XHV 챔버 형성 기술 적용

납품처 : 한국표준과학연구원