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¤ýºÐ±¤¿µ¿ª : 1~30nm
¤ýȸÀý¹ß : ºñµî°£°Ý ¿À¸ñ ȸÀý¹ß
(1200 lines/mm¿Í 2400 line/mm)
¤ýSlit : variable slit 10~100um
¤ýDetector : Gated MCP coupled with CCD camera
¤ýTime gating width : < 10ns

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1.ÀåÄ¡°³¿ä

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2. ÀåÄ¡±¸¼º ¹× »ç¾ç

¤ýºÐ±¤¿µ¿ª : 1~30nm
¤ýȸÀý¹ß : ºñµî°£°Ý ¿À¸ñ ȸÀý¹ß (1200 lines/mm¿Í 2400 line/mm)
¤ýSlit : variable slit 10~100um
¤ýDetector : Gated MCP coupled with CCD camera
¤ýTime gating width : < 10ns

3. ºÐ±¤±â Ư¼º ÃøÁ¤°á°ú
4. ³³Ç°½ÇÀû

¿ø±¤´ëÇб³ X¼± Çö¹Ì°æ ¿¬±¸¼¾ÅÍ(2004³â 2¿ù)
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