챔버
극자외선분광기
입출력유니트
 

진공극자외선 분광기

 

ㆍ분광영역 : 1~30nm
ㆍ회절발 : 비등간격 오목 회절발
(1200 lines/mm와 2400 line/mm)
ㆍSlit : variable slit 10~100um
ㆍDetector : Gated MCP coupled with CCD camera
ㆍTime gating width : < 10ns

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1.장치개요

공기 중의 높은 흡수도와 물질 표면에서의 낮은 반사도를 가지는 극자외선을 측정하기 위한 분광기로서 시간 분해 측정이 가능하도록 하는 gating 기능을 갖추고 있다. 평면 결상 조건이 만족되어 CCD, MCP와 같은 일반 평면 검출기를 사용하기에 적합한 분광기를 포항공대 김동언 교수팀과 산학협동 연구로 국산화 제작

2. 장치구성 및 사양

ㆍ분광영역 : 1~30nm
ㆍ회절발 : 비등간격 오목 회절발 (1200 lines/mm와 2400 line/mm)
ㆍSlit : variable slit 10~100um
ㆍDetector : Gated MCP coupled with CCD camera
ㆍTime gating width : < 10ns

3. 분광기 특성 측정결과
4. 납품실적

원광대학교 X선 현미경 연구센터(2004년 2월)
국방과학연구원(2000년 7월 납품 완료)