챔버
극자외선분광기
입출력유니트
 

모델명 : Volume Chamber ; Dry Pump Test Chamber

 

제작일 : 2002. 11

 

제작사양 : 10-10 mbar*L/s 이하의 누출률
높이x폭x깊이 1080x1760x1000 mm^3
중 고진공용 대용량 펌프의 펌핑 능력을 측정하기 위한 대형 챔버

 

납품처 : Alcatel, BOC Edwards, K.C.Tech,
한국 Ebara 정밀기계, LOT Vacuum

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