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제목 초소형 이온펌프 개발(2L/s)
작성자 관리자 작성날짜 2006-08-14 조회수 29932
 

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초소형 이온펌프 개발(2L/s)

당사에서는 휴대용 전자현미경 장치 등에 사용할 수 있는 초소형 이온펌프를 개발하였다. 이를 통해 당사에서는 2L/s급의 초소형 이온펌프에서부터 720L/s의 대용량 이온펌프까지 다양한 제품군을 형성하여 다양한 고객의 요구에 부흥할 수 있게 되었다.
이번에 개발된 이온펌프의 주요사양은 다음과 같다.

Operating pressure : ~10-9 Torr
Pumping speed : 2L/s
Pumping Port : 2.75" CF
Weight : 1.0 Kg
Magnetic intensity : 3.3kG
Voltage : 3 ~ 5 kVdc
Current : 3mA
dimension : 45mm x 45mm x 100mm

 
       
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