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극자외선 분광기를 개발하여 다수 납품을 하였습니다 분광영역 : 1-30nm 회절발 : 비등간격 오목 회절발(1200 line/mm & 2400 line/mm  Slit: Variable Slit 10-100um  Derector : Gated MCP coupled With CCD Camera  Time garing with : 10ns