IP:61.107.11.139

등록번호 10-0860274

특허권자:
포항공과대학교 산학협력단
주식회사 브이엠티

발명자: 하태균, 정석민, 황운봉, 김진곤, 김경동, 박종도

저온 가열탈기체 처리 가능한 소형, 경량 초고진공용스퍼터 이온펌프 및 그제조방법